劃片尺寸:12″以內所有尺寸
可切割材質:Si、玻璃、Si+璃單層或多層復合,SiC、藍寶石、ALN等
可切類型:消費IC 類、MEMS體硅類、光學玻璃類
IC晶圓切割能力:12寸以內的所有尺寸、厚度400um以內,切割道寬度>50um
體硅、玻璃、復合材質類:
(1)8寸以內的所有尺寸、厚度1000um以內,切割道寬度>100um
(2)8寸以內的所有尺寸、厚度3000um以內,切割道寬度>150um
(3)8寸以內的所有尺寸、厚度5000um以內,切割道寬度>200um
能進行MPW圓片劃片、 MPW切單顆服務

劃片機
劃片尺寸:12″以內所有尺寸
可切割材質:Si、玻璃、Si+璃單層或多層復合,SiC、藍寶石、ALN等
可切類型:消費IC 類、MEMS體硅類、光學玻璃類
IC晶圓切割能力:12寸以內的所有尺寸、厚度400um以內,切割道寬度>50um
體硅、玻璃、復合材質類:
(1)8寸以內的所有尺寸、厚度1000um以內,切割道寬度>100um
(2)8寸以內的所有尺寸、厚度3000um以內,切割道寬度>150um
(3)8寸以內的所有尺寸、厚度5000um以內,切割道寬度>200um
能進行MPW圓片劃片、 MPW切單顆服務

劃片機